潔凈室(cleanroom)這個(gè)名詞和概念源于18世紀(jì)六十年代的歐洲醫(yī)學(xué),當(dāng)時(shí)的理解僅限于經(jīng)噴灑消毒后可以控制創(chuàng)部感染率的處置室、手術(shù)室這類(lèi)滅菌處理的工作環(huán)境。現(xiàn)代潔凈室雖然延用了這個(gè)名詞,但在定義和內(nèi)涵上都與原有的概念有根本的不同,現(xiàn)代潔凈室形成一項(xiàng)專門(mén)技術(shù),其歷史不過(guò)只有半個(gè)世紀(jì)。隨著科技的發(fā)展?jié)崈艏夹g(shù)(cleanroom)是適應(yīng)實(shí)驗(yàn)研究與產(chǎn)品加工的精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性等方面要求而誕生的一門(mén)新興技術(shù)。
潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)和ISO 14644一樣,都是根據(jù)懸浮粒子濃度這個(gè)指標(biāo)來(lái)劃分潔凈室(區(qū))及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級(jí),并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群。
為了更好的檢測(cè)潔凈室內(nèi)的粒子可選用粒子計(jì)數(shù)器